场发射扫描电子显微镜

Field emission scanning electron microscope

生产厂家：日本HITACHI公司

型号：SU 8010

单价：253万元

购置日期：2013年10月

主要技术指标：

Ø  分辨率：1.0 nm（15 kV）、1.3 nm（1 kV）

Ø  测试电压：0.1keV ~ 30keV

Ø  最高放大倍数：30～40万倍

Ø  样品要求：干燥、无磁性、尺寸小于25×25×10cm

主要用途：

主要用于材料的显微结构分析和材料元素的定性和半定量分析，材料范围包括：（1）生物：种子、花粉、细菌等；（2）医学：血球、病毒等；（3）动物：大肠、绒毛、细胞、纤维等；（4）材料：陶瓷、高分子、粉末、环氧树脂等；（5）化学、物理、地质、冶金、矿物、污泥（杆菌）、机械、电机及导电性样品，如半导体(IC、线宽量测、断面、结构观察……）电子材料等。